LEAK에 관하여
1. LEAK의 정의 - Leak는 진공 용기에 생긴 구멍 및 연결부위를 통해 유체나 가스가 압력차이나 농도차이에 의해 들어가거나 나오는 현상으로 크게 Real Leak와 Virtual Leak 로 나누게 된다.
2. 진공시스템에서허용가능한최대Leak Rate 일반적으로시스템에사용된진공펌프의배기능력(Pumping Performance 또는 Throughput Q)의10% 정도를허용치로한다. Ex) 어떤진공펌프가1 X 10-3 Torr에서500 sccm의Throughput을갖는다면이값의10 %인50 sccm정도가Leak를통하여들어오더라도이진공도를유지할수있다.☎SCCM (standard cubic centimeter per minute) 0℃. 1기압에서1분동안방출되는기체의양(1sccm = 1 ㎤)3. Leak 발생원인 ▶연결부위에서의Leak 용접부위나게이지연결부위등에서발생 ▶재질이나원소재자체의결함 원소재에미세한구멍이나가스경로가있는경우, 불균일한조성, 균열을통해Leak가발생 ▶용도에맞지않는재질의선택 유리로된부분이너무얋거나Pyrex의경우발생하는He의투과현상, 다공질물질의사용, TEFLON을사용하는경우수소투과현상이발생 ▶Outgassing 표면처리및연마가잘못되어오염되어있거나표면이거칠어가스분자가붙을수있는자 리가많은경우 ▶Virtual Leak의발생 틈새나용접을이중으로하거나가스켓을이중으로사용하는경우