- 일반적으로 RTA는 반도체 재료의 전기적 특성 분석을 위한 전극 재료의

 

코팅 후 Annealing을 위해 사용하거나 TFT 분야에서 비정질 실리콘의

 

열처리 조건을 바꾸어 줌에   따른 결정변화를 관찰 하기 위해 이용 하고

 

있습니다.

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 제이벡의 RTA System은 연구 개발 및 생산을 목적으로 하는 급속진공열처리

 

시스템으로 간단한 조작과 빠른 속도의 진공 분위기 생성 , 빠른 온도 상승 및

 

온도하강, 정교한 온도콘트롤 등의 기능으로 정확하고 균일성 있는 급속 열처리가

 

가능한 장비 입니다.
 

 옵션으로 고진공 배기 시스템 및 가스의 분위기 형성을 위한 정확한

 

가스 유량 제어 시스템, PC 및 PLC를 이용한 자동제어 시스템으로

 

더욱 편리하고 광범위한 공정 적용을 하실수 있습니다.